基板洗浄工程では、カゴを何度も高速で上下動させる必要があり、直動機構部の負荷時間率が100%近くになる高負荷運転が求められていました。しかし、従来の油圧機構では速度と負荷時間率に制限があったため、十分な上下動作ができず、汚れ除去の確実性に課題がありました。

リニスピードジャッキを採用することで、連続高速動作を安定して行えるようになり、洗浄液中での上下動作が十分に確保され、基板表面に付着した不純物を確実に除去できるようになりました。