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高強度・高剛性ベルトへの置換で半導体搬送の停止精度と清浄度を大幅に向上

ウルトラPXベルト HY仕様

課題
工数削減、摩耗粉・発塵
業界
液晶・半導体・電子機器・通信
用途
動力を伝える
製品
タイミングベルト/タイミングプーリ

概要

半導体検査工程で使用される搬送装置において、従来の他社製タイミングベルトでは剛性が足りず停止精度が不十分で、ワークの受け渡しや加工位置にズレが生じることが課題となっていました。

また、摩耗による発塵がクリーン環境に悪影響をおよぼし、検査精度に支障をきたす恐れがありました。

そこで、高強度・高剛性のタイミングベルトHY仕様を採用することで、停止精度が大幅に向上し、工程の安定化を実現しました。


課題

従来使用されていた他社製タイミングベルトでは、停止位置の精度が不十分で、ワークの受け渡しや加工位置にズレが発生するケースがありました。

さらに、他社製タイミングベルトの摩耗に伴う発塵が、半導体製造で重要なクリーン環境を損なうリスクとなり、検査対象に悪影響を及ぼす可能性がありました。


採用製品

ウルトラPXベルト HY仕様

心線に剛性の高いカーボンとグラスファイバーを特殊処理したハイブリッド心線を採用することで高伝動能力を実現しました。

装置のコンパクト化や質量低減が可能です。

ハイブリッド心線を採用することで荷重伸びの軽減を実現しました。高速・高負荷伝動が可能です。

また、減衰時間の大幅な短縮や最大振幅の減少により、装置のスピードアップを実現します。


製品採用による効果

つばきのタイミングベルト HY仕様は、剛性の高いカーボンとグラスファイバーを特殊処理したハイブリッド心線を採用することで、超高剛性・超高強度を実現しています。これを採用したことにより、ワークの位置ズレが抑制され、受け渡しや加工工程の安定性が高まりました。

さらに、低摩擦歯布の採用とこのハイブリッド心線の衝撃吸収効果により、クリーンな運転を実現しました。


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