半導体検査装置のケーブル保護において、従来のプラスチック製ケーブルキャリアでは摩耗粉の発生による歩留まり低下リスクがあるため、フラットケーブルが用いられることがあります。

しかし、一般的なフラットケーブルの場合動きに伴って跳ね上がりが発生し、装置に振動が発生することで、検査に影響を及ぼすリスクがありました。

フラットベヤを採用することで、ISOクラス1の厳しいクリーンルーム基準をクリア。摩耗粉発生の抑制を実現しました。

加えて、ケーブルやチューブの屈曲部のふくらみを独自構造で抑制し、跳ね上がりや可動時のバタつき・揺れを大幅に軽減し、検査精度の安定性を確保できました。