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塵飛散を抑えた電動シリンダでクリーン環境下の生産性向上

パワーシリンダ Tシリーズ

課題
摩耗粉・発塵
業界
液晶・半導体・電子機器・通信
用途
直動する
製品
直動機器

概要

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造装置では、ガラス面への微細な塵や埃の付着が製品不良につながるため、低発塵仕様のシリンダが求められていました。

また、生産性向上のため運転サイクルの高速化や耐久性の向上、さらに高い停止精度の確保も課題となっていました。

そこで低発塵ジャバラとエアチューブを組み合わせ、塵の飛散を防止する特殊対応を行うことで、クリーン環境下での使用を可能に。

さらに、製品特性の特殊対応による運転サイクル向上と、サーボモータ採用による高精度停止制御により、生産性と搬送精度の両立を実現しました。


課題

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造装置では、ガラス面に微細な塵や埃が付着すると製品不良につながるため、クリーンな環境でも安心して使用できる低発塵仕様のシリンダが求められていました。

さらに、生産性向上のため運転サイクルの高速化や耐久性の向上が必要であり、同時に高い停止精度を確保することも課題となっていました。


採用製品

パワーシリンダ Tシリーズ

AC(交流)電源でご使用いただける定格推力2.45kN以上の中推力ゾーンの電動シリンダです。

強力に荷重を保持するブレーキモータ、低騒音を実現したギヤ減速部、シリンダ用に開発された高効率ボールネジ、相手装置を保護する安全機構、豊富なオプションであらゆる用途に使用できます。

※本事例は標準仕様外の特別対応製品です。詳細はお問い合わせください。


製品採用による効果

通常はジャバラの空気穴から塵や埃が漏れ、ガラス面への付着が懸念されますが、低発塵ジャバラを採用し、ジャバラ取り付け部にエアチューブを設けることで、外部への塵の飛散を防止。クリーンな環境下でも使用できる発塵低減を実現しました。

さらに、製品特性(推力・速度・頻度)を装置仕様に合わせた特殊対応とすることで、運転サイクルを向上させ生産性の改善に貢献。加えて、カタログ品インダクションモータをサーボモータに変更することで、高精度な停止制御も実現。ガラス搬送時の停止精度を確保しました。


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