クリーン環境下の昇降装置で低発塵と省スペース自動化を同時に実現

ジップチェーンアクチュエータ

課題

省スペース

業界

液晶・半導体・電子機器・通信

用途

直動する

製品

直動機器

概要

半導体露光装置の扉の開閉を自動化させるにあたり、装置レイアウトを変更せずに導入できる省スペースな電動アクチュエータの選定が求められていました。

また、クリーンルーム内の設備であるため低発塵性も重要でした。

そこで、低床・コンパクトな設計のジップチェーンアクチュエータを採用。クリーングリスを採用することで発塵リスクを抑制しつつ、既存設備へのスムーズな組み込みを実現しました。

課題

既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。

さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。

採用製品

ジップチェーンアクチュエータ

噛合チェーン(ジップチェーン)は、2本のチェーンがジッパーのように噛合い、1本の強固な棒状になり｢押し・引き｣ができる当社独自開発のチェーンです。

ジップチェーンアクチュエータはこの機構を採用した、全く新しい直動機器です。

ジップチェーンをコンパクトなケースに収納できるため、従来の直動機器に比べ圧倒的な省スペース化を実現しました。

高速・高頻度運転に対応し、油圧・空圧シリンダと比べて使用電力量も大幅に削減できます。

高精度に多点停止が可能で、取付方向も自由です。

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製品採用による効果

ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。

1000mm/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。

また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。

クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。

つばきは貴社のお困りごと解決を全力でサポートいたします。

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