半導体業界向け
つばき商品
低発塵性、高精度などが要求される半導体製造装置に対する商品のご提案が可能です。
搬送
ロボットによる搬送
ウエハ搬送ロボット
採用用途
ロボットアームの駆動、ロボットの走行
走行時の高い停止位置精度、高速性、低発塵性が求められます。
ケーブルベヤ
使用環境に応じた低発塵商品をご提案します
TKP形MW仕様
「高摺動性特殊材料」を使用することにより、ケーブル・チューブの保護性向上および低発塵を実現した高機能ケーブルベヤです。
POINT
低発塵、高汎用性
TKR形
つばき独自の屈曲機構により、低発塵、低騒音、低振動を実現します。
POINT
- 清浄度ISOクラス3(社内試験結果)
- 静音性
パワーロック・カップリング
ステンレス仕様
無電解ニッケルメッキ仕様
豊富なラインアップと確かな品質で、耐環境のニーズにマッチ
POINT
クリーン、耐食性、高汎用性
タイミングベルト
ウルトラPXベルト HC仕様
ウルトラPXベルト HY仕様
高精度・高強度を追求した伝動ベルト
高精度・高強度をさらに追求した伝動ベルトで、装置のコンパクト化に貢献します。摩耗粉の飛散が極小でクリーンです。さらに高強度・高剛性のHY仕様も用意しています。
POINT
高精度、高速
プーリ
ロックプーリメッキ仕様
キーレス締結具を一体化したタイミングプーリです。各部品の表面処理により耐食性向上と潤滑油不要のドライ締結を実現しました。
POINT
締結ガタゼロ、簡単手配
クリーン搬送システム
天井搬送システム
オートランバンガード
天井空間でクリーンな搬送を実現
重量物搬送（max.200kg）、集電部からの発塵がゼロ（非接触給電）、製造装置へのダイレクト搬送。クリーンユニット搭載によりワークに対し高いクリーン度を維持可能。
POINT
集電部からの発塵ゼロ、重量物搬送（最大200kg）
昇降
AMRによるフープ搬送
AGVやAMR上の昇降機構にジップチェーンアクチュエータを用いることで、低床化に貢献します。
POINT
スペースセービング、低床性
ジップチェーンシリーズ
ジップチェーンアクチュエータ
狭いスペースでも設置OK、多彩に使える直動機器
省スペースで、高速・高頻度運転に対応し、油・空圧シリンダと比べて使用電力量も大幅に削減可能です。高精度な多点停止が可能で、取付方向も自由です。
AMR昇降
油圧リフタ、ワイヤ方式
停止精度が低くリフタと床面の間に段差が生じる
ポールネジ式
長ストローク化が困難
ジップマスタが解決します！
POINT
- 高精度：乗り移り時の段差を抑制
- 高速性：タクトタイムを短縮
- 高揚程：最大4mまで対応可能
ジップチェーンシリーズ
ジップマスタ
ジップチェーンを用いた置きポンで高速昇降可能な片持式リフタ
置くだけで使える「置きポン形」設計で、高速・高頻度・高揚程だから様々な用途に使えます。
ふた開閉機構
リフトマスタが設備のふたの昇降に用いられます。ふたがつられたアームを手動で旋回可能な構造も提案可能です。
POINT
据付・操作性が簡単、油漏れなく清潔
片持式リフタ
リフトマスタ
高精度な多段位置決めができる ボールネジ/台形ネジを使った 片持式リフタ
「置きポン形」設計で、生産ラインを自由にレイアウト でき取り扱いも簡単です。電動化により作業環境も 改善され、省エネにも貢献します。
クリーン対応
各部品からの発塵を低減させる対応が可能です。
- 特殊表面処理（ボールネジ・ガイド）
- ステンレス製カバー
- クリーングリス塗布（ボールネジ・ガイド）
- 焼付塗装
フープ垂直循環搬送
フープの階層間の搬送装置の昇降部にラムダチェーンが採用されています。外部からの給油が不要なので装置のメンテナンス工数の削減、油の飛散を抑えたクリーンな環境の実現に貢献します。
POINT
- メンテナンス工数削減
- クリーンな環境の維持
無給油ドライブチェーン
ラムダチェーン
特殊含油ブシュを採用した無給油チェーン
自己潤滑機能を備えた特殊含油ブシュを採用しており、無給油・長寿命のご使用が可能です。
回転・伝動
ウエハ研磨装置
定盤回転駆動用に回転ムラが小さくコンパクト性を有したトロイドライブの採用事例が多数あります。さらに駆動用のベルト&プーリ、ブラシ駆動用減速機なども採用されています。
採用ポイント
高伝達容量
コンパクト
回転ムラが小さい
検査装置の反転機構
プローバの反転機構にトロイドライブが採用されています。
さらにウエハステージ稼動部にケーブルベヤ、ベルト＆プーリなども採用されています。
採用ポイント
高強度＆軽量・コンパクト
セルフロック性・静粛性
減速機
トロイドライブ
ハイパフォーマンスウォーム減速機
高伝達容量で薄型コンパクト
限られた接地面積の中でも他社製汎用ウォーム減速機と比較して高伝達容量を得られます。
低振動
滑り接触で伝達するウォームギヤは、転がり伝達のヘリカル・ベベルギヤを使用する他の減速機と比較して低振動のため、最終製品の仕上がりを向上させます。
角度伝達誤差（回転ムラ）が小さい
ヘリカル・ベベル等の減速機構と比較して角度伝達誤差が約1/10のため、なめらかな回転が最終製品の仕上がりを向上させます。
小形ギヤモータ
コンパクトで使いやすく、高効率な減速機です。用途に応じた最適なモータや軸配置（平行軸/直交軸）、出力軸形状（中実/中空）が提案可能です。
ジップチェーンシリーズ
ジップチェーンアクチュエータ
中・大型サイズ
POINT
推力MAX38.2kN
ストロークMAX5000mm
速度MAX1000mm/秒
狭いスペースでも設置OK、
多彩に使える直動機器
高速＆高頻度運転、優れた停止精度と制御性・コンパクト性を兼ね備えたつばき独自の直線作動機です。
タイミングベルト・プーリ
正確な位置決めや高い同期性が要求される用途に最適
つばきのタイミングベルトは、高頻度・高速運転が可能で長寿命。
高強度・高張力のPXベルトの能力を100%引き出す純正プーリと合わせてお使いください。
DCブラシレスハイポイドモートル
インバータ駆動とサーボモータのメリットを両立した信頼性のあるモータです。
温度センサ内蔵によりモータの焼損保護を実現しています。
TERUSシリーズ
ウォーム減速機にギヤモータを組み合わせることも可能です。ウォームギヤの特長である高強度、ギヤモータの特長である高効率を併せ持つ高機能ギヤモータです。装置のコンパクト化、部品点数の削減が図れます。
TERUSシリーズについてさらに詳しく
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支持・案内・保護
ケーブルの支持案内においてこのような課題はありませんか？
ケーブルベヤ（相当品含む）から
- 摩耗粉付着による製品不良を削減したい
- 設置スペースを抑えたい
- ケーブル・チューブの保護性を向上させたい
フラットケーブル・チューブから
- ケーブル・チューブのたわみを抑えたい
- 跳ね上がりを抑えたい
クリーンベヤ・フラットベヤが様々な課題を解決します。
ステージの移動
ステージの移動部分のケーブルの支持案内にフラットベヤが採用されています。
採用装置
露光機・ボンダー・マウンター など
採用ポイント
低発塵、低振動、断線対策
ウエハカセットの移載
薬液槽間の移載のケーブルの支持案内に採用されています。
サポートメンバにより長ストローク化が実現できます。
採用装置
洗浄装置
採用ポイント
低発塵、長ストローク
クリーンベヤ
清浄度ISOクラス1
つばきケーブル・ホース支持案内装置の中で最も低発塵です。
ISOクラス1の清浄度を実現し、クリーンルーム内の使用に最適です。
36dB(A)以下の低騒音と屈曲回数1000万回以上※と長寿命です。 ※社内試験の結果
低発塵
ケーブルやチューブ、サポートメンバをポッド内に収納することで摩耗粉の飛散を防止します。
ケーブル同士の摺動や干渉による断線リスクの対策にも有効です。
取付工数削減
専用のケーブルやチューブを組み込み、クランプを取りつけ提供します。装置へスムーズに取りつけることができます。
多段構造対応
最大6段積みまで※対応可能です。 ※社内試験の結果
クリーンベヤについてさらに詳しく
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フラットベヤ
清浄度ISOクラス2
つばき独自の自立式フラットケーブルシステムです。
独自機構のサポートメンバを内蔵しており長ストロークでの使用が可能です。使用条件に応じた専用のケーブルやチューブを組み込んで提供します。
低発塵
製品の歩留まり向上に貢献します。
長ストローク
最大ストローク2.8mまで対応可能です。
（ZP仕様は最大1.8m）
フラットケーブル(他社製)
フラットベヤ(つばき製)
断線対策
最大6段積みまで※対応可能です。 ※社内試験の結果
跳ね上がり抑制
装置周辺部とケーブルの干渉を防ぎます。
フラットケーブル(他社製)
フラットベヤ(つばき製)
フラットベヤについてさらに詳しく
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フラットベヤZP仕様
取り扱い性向上
- ケーブル・チューブの出し入れが容易で、部分交換が可能。屈曲性、耐久性、摺動性のよいつばき独自の開閉チューブを採用。
- 清浄度ISOクラス2相当を実現。(当社社内試験結果より)
ケーブルベヤ プラシリーズ
PVDF仕様
真空用途に
特殊フッ素樹脂を使用することで、真空雰囲気環境下のアウトガス対策に有効です。
また、優れた耐薬品性も有しています。
ケーブルベヤ プラシリーズ PVDF仕様についてさらに詳しく
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