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クリーンルームのケーブル保護、発塵を抑え歩留まり向上へ

ケーブルベヤ

課題
摩耗粉・発塵
業界
液晶・半導体・電子機器・通信
用途
支持・案内する
製品
ケーブルベヤ

概要

クリーンルームで使用される半導体・FPD製造&検査装置などは、ワーク不具合に繋がる発塵を抑えることが重要です。

クリーンベヤは、ISOクリーンクラス1の低発塵性により、ワーク上側にある可動ケーブルをクリーンに支持・案内し、歩留まり向上に貢献します。


課題

半導体・FPD製造&検査装置などでワークよりも上にケーブル保護装置の可動部がある場合、発塵によりワークの不具合が発生していました。


採用製品

ケーブルベヤ クリーンベヤ

つばきケーブルベヤの中でも最も低発塵なケーブルシステムです。

清浄度ISOクラス1を実現し、クリーンルーム内の使用に最適です。

36dB(A)以下の低騒音と屈曲回数1000万回以上の長寿命です。(当社テスト結果より)

欧州RoHSⅡ指令で制限されている閾値以上の特定有害物質は使用していません。(お客様ご支給のケーブル・チューブを除く)


製品採用による効果

フッ素樹脂素材のポッドで一体化したクリーンベヤによって、低発塵化を実現し、歩留まり向上に繋げることができました。

また、ISOクリーンクラス1を取得しているため、クリーンルームにおける装置の信頼性向上に貢献できました。


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