- 2026年12月9日(水)～11日(金) 10:00～17:00
- 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号：E3532
半導体業界で多くのお客様にご愛用いただいている商品を多数ご紹介します。
みなさまのご来場をお待ちしております。
出展品
お客様の課題解決につながる商品を紹介します。
ボタンをクリックして、出展品の情報を表示させてください。
当社シリーズで最も高い強度と剛性を備えた
タイミングベルト /
ウルトラPX®ベルト HY仕様
- 伝動
特長
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シリーズ最上位の剛性
剛性の高いカーボン＋高強度ガラスファイバーのハイブリッド心線を採用。
非常に高い剛性を保持しながら屈曲疲労性にも優れ、背面アイドラも使用可能。
繰り返し停止精度が高く、減衰特性にも優れスループット向上を実現。 -
シリーズ最上位の強度
カーボン心線を採用することで非常に高い伝動能力を実現。
ベルト幅の細幅化やピッチダウンが可能となり、装置のコンパクト化に貢献。
プーリの軽量化やイナーシャ低減も可能。
油や水が掛かる雰囲気でも膨潤や
早期劣化が起きにくいタイミングベルト /
ウルトラPX®ベルト HA仕様
- 伝動
特長
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耐熱
雰囲気温度110℃まで使用実績あり。(ドライ環境下)
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アウトガス発生の抑制(期待効果)
材料の物性特性から当社の他シリーズに比べアウトガスの発生が少ないと推定。
半導体の歩留まり改善が期待できる。
＜注記＞
タイミングベルトは化成品です。アウトガスが発生しないことはなく必ず発生します。
発生するアウトガスの種類や量はご使用環境によって異なります。
ご使用にあたってはお客様側で使用可否判断をお願いいたします。
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高強度・高精度
スタンダードモデルの2倍の伝動能力。運転伸びが少なく高精度な伝動を維持。
耐摩耗性の歯布だから異物混入リスクも最小限。
低発塵で伸びにくいタイミングベルト /
ウルトラPX®ベルト HC仕様
- 伝動
特長
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高精度
運転伸びが少なく高精度な伝動を維持。
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高強度
ベルトの細幅化やプーリの小型化など、省スペース設計が可能。
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低発塵
歯布表面に独自の潤滑処理を施すことで摩耗粉の飛散を低減。
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摩耗状態が一目でわかるカラー(青色)
青色の歯ゴム採用により、歯布の摩耗状態が一目でわかる。
新たなスタンダード。
必要十分な性能のタイミングベルト /
PXベルト® RC仕様
- 伝動
特長
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寿命判断の可視化
ベージュ色歯布の採用により摩耗状態の視認性がアップ、 ベルト寿命の判断が容易。
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低発塵
歯布表面に独自の潤滑処理を施すことで摩耗粉の飛散を低減。
往復駆動・ロングスパンの伝動を無潤滑で
低発塵に。
オープンエンドベルト / ロングベルト
- 伝動
特長
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切り放しのオープンエンドベルト
往復駆動やロングスパンの伝動に最適で、さまざまな用途に対応。
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豊富な品種
汎用タイプ、高強度タイプ、耐環境タイプ、超高強度タイプなど、
使用環境に応じて4つの仕様から選択可能。
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低発塵
静音性と無給油に加え、独自の歯布処理 により発塵量が少なく、
クリーンな運転を実現。
歯布表面に独自の潤滑処理を施すことで摩耗粉の飛散を低減。
オープンエンドベルトの取付けやベルトへの
ワーク固定の継手金具 /
ベルトクランプ
- 伝動
特長
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在庫品
在庫品のためすぐに入手可能。
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ベルトに合わせた品揃え
ピッチ5mmは幅10/15/20/25mm、ピッチ8mmは幅15/20/25/40/60mmを
取り揃え。
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取付穴
穴なし(お客様側で自由な追加穴加工)、穴あり(メーカー側で規定サイズの穴加工)から
お客様のご要望に応じて選択可能。
バックラッシレスなので
繰り返し停止精度が高い。
キーレス締結具一体型のタイミングプーリ /
ロックプーリ®
- 伝動
特長
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バックラッシレスの摩擦締結
キー溝締結ではなく摩擦締結のためガタがゼロ。
繰り返し位置決め精度が高く、スループット向上に貢献。
摩擦締結だから位相合わせ/取り付け・取り外しが容易で、軸方向の抜け止めも不要。
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3タイプをラインアップ
用途に合わせて標準機種のSタイプ / ナット一つで締結可能なNタイプ /
クランプカラーを用いて2本のボルトで締結できるCタイプの3タイプから選択可能。
設置面の発塵をなくす空中設置の
自立式フラットケーブルシステム /
フラットベヤ® 品種拡大 下面受けなし
【開発品】
- ケーブル支持
・保護
特長
-
空中設置でさらに低発塵
発塵源となるケーブルベヤ下面の受けを無くし、屈曲部を宙に浮かして設置することで、さらなる低発塵を実現。
半導体製造工程の歩留まり改善に貢献。(最大ストローク1m)
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高速・高加速時の姿勢安定性
剛性アップしたサポートメンバ(支持部材)により、ケーブル・チューブの跳ね上がりを抑制し、
チップマウンタのような
高速・高加速時の姿勢安定性を維持。
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清浄度ISOクラス1
ケーブルやチューブを平型溶着。支持物とケーブルベヤ、支持物同士の摺動摩耗を抑制。
摩耗粉の発生を抑えて半導体製造工程の歩留まり改善に貢献。
最大4.0mの長ストローク対応の地上設置の
自立式フラットケーブルシステム /
フラットベヤ® 品種拡大 長ストローク
【開発品】
- ケーブル支持
・保護
特長
-
最大4.0mの長ストローク
剛性アップしたサポートメンバ(支持部材)により、ケーブル・チューブの垂れや跳ね上がりを抑制。
ウエハや液晶の大型化に伴う、搬送スライダの大型化・ロボット搬送距離の長ストローク化に対応。
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簡単設置
ケーブルやチューブを溶着してお届けするため、装置への取り付けが容易に。
長ストロークにわたるケーブルの挿入作業が発生しません。
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清浄度ISOクラス1
ケーブルやチューブを平型溶着。支持物とケーブルベヤ、支持物同士の摺動摩耗を抑制。
摩耗粉の発生を抑えて半導体製造工程の歩留まり改善に貢献。
フラットベヤ®・フラットベヤ®ZP仕様の
さらなる低発塵化に応えるオプションパーツ /
フラットベヤ®,フラットベヤ®ZP仕様
低発塵シート【開発品】【初出展】
- ケーブル支持
・保護
特長
-
接地面との摩擦による発塵低減
フラットベヤ、フラットベヤZP仕様を装置床面に設置した際、稼働時に接地面との摺動を軽減し、
さらなる低発塵化を実現。
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多段仕様時の摩擦による発塵低減
多段で使用できるフラットベヤ、フラットベヤZP仕様の層間に挟むことで、稼働時の位相ズレによる発塵を抑制。
つばきケーブルベヤの中で
最も低発塵なケーブルベヤシステム /
クリーンベヤ®
- ケーブル支持
・保護
特長
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清浄度ISOクラス1
つばきケーブルベヤのなかで最も低発塵。特に発塵を抑えたい設備・用途に好適。
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長寿命
すべり性に優れたポッド(フッ素樹脂 ePTFE)を採用。
ポッド内にケーブルやチューブを収納することで支持物同士の摺動摩耗を防止。
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取付工数削減
お客さまのご要望に合わせてケーブルやチューブを組み込み、
クランプを取り付けた状態で納品。
納品後は装置へスムーズに取り付けが可能。
ケーブルベヤ技術を駆使した
独自の自立式フラットケーブルシステム /
フラットベヤ®
- ケーブル支持
・保護
特長
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清浄度ISOクラス1
ケーブルやチューブを平型溶着し、支持物同士の摺動摩耗を抑制。
摩耗粉の発生を抑えて半導体製造工程の歩留まり改善に貢献。
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長ストローク対応
フラットケーブルの両側にサポートメンバ(支持部材)を内蔵することで
跳ね上がりを抑制。
長ストローク対応が可能に。
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取付工数削減
お客さまのご要望に合わせて、ケーブルやチューブを組み込んだ状態で納品。
量産装置への取付工数を削減。
開閉構造を備えた
自立式フラットケーブルシステム /
フラットベヤ® ZP仕様
- ケーブル支持
・保護
特長
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清浄度ISOクラス1
摺動性の良いチューブにケーブル、チューブ、サポートメンバ(支持部材)を
収納することで、摩耗粉の飛散を抑制。
半導体製造工程における歩留まり向上に寄与。
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ケーブル・チューブの長寿命化
サポートメンバにより、ケーブル・チューブを過度な屈曲から守り、
長寿命化。
ライン停止を最小限に抑制。
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カンタン収納・交換
つばき独自開発の開閉チューブにより、ケーブルやチューブの
収納や交換が
容易に可能。
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選べる2色
黒色と白色をラインアップ。設備や使用環境に合わせて選択が可能。
クリーンに使える
長ストロークのケーブルベヤ® /
TKR28H52-EX
- ケーブル支持
・保護
特長
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長ストローク 最大5.94m
ウェーハの大口径化や液晶の大型化に伴う、搬送スライダの大型化、
ロボット搬送距離の長ストローク化に対応。
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清浄度ISOクラス1
樹脂のたわみで屈曲するため低発塵。半導体などのクリーンルームにおける
ケーブル保護に好適。
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長持ち
従来のTKR形から、さらに高強度な剛性材を新採用。柔軟材の形状も刷新し一体成型とすることで、クリーン性を維持しながら、長寿命化とさらなる長ストローク対応を実現。
クリーン環境に対応した超低床の直線作動機 /
ジップチェーンアクチュエータ®
- 直動
特長
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圧倒的なコンパクト性
ジップチェーンを低床ケースに収納できるため、ダントツの省スペース化を実現。
押し上げ・水平・吊下げなど、お客様の用途に応じて自由に設置が可能。
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高速・高頻度運転、多点停止
ねじ式や油圧・空圧シリンダを圧倒する最大1000mm/sを実現。
サーボシステムなどを使用した多点停止や連続運転も可能(負荷時間率100%ED)。
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クリーン環境への対応可能
クリーン環境に対応したジャバラやグリスを使用することで、発塵リスクを抑制。
サーボモータの性能を
最大限に発揮する電動シリンダ/
パワーシリンダ エコシリーズサーボタイプ
- 直動
特長
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幅広い推力範囲(最大15000N)
高速(333mm/s)×大推力(15000N)を発揮するサーボシステム専用のパワーシリンダ。
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各メーカのサーボモータに対応可能
お客様ご希望のサーボモータが取付け可能。
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高い停止精度を実現
高精度ボールネジの採用により高い停止精度を実現。
精度に影響がない精密遊星減速機付きも製作可能。
狭所での使用に最適。既存の最小フレーム□45より更に小さい□20も開発中。
クリーン環境での搬送・保管自動化 /
既設工場に合わせたレトロフィット
(居ながらリニューアル)提案
- 搬送
特長
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オートランバンガード
走行・昇降機能を持ち省スペースな設置が可能。
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OHT (オーバーヘッドホイストトランスファー)
走行・昇降・旋回・シフト機能を持ち、フレキシブルな対応が可能。
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OHS (オーバーヘッドシャトル)
低振動な搬送が魅力。既存ラインの更新まで幅広く提案。
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トランスキャリー
低重量から高重量まで幅広いワークに対応
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AMR
天井搬送との組合せ提案可能。作業者と共存も可能。
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MCS (マテリアルコントロールシステム)
自動搬送装置を包括管理する自社製総合管理システム提案で生産を効率化
多様な方法でお客様にフィットしたソリューションを提案。
レガシー半導体工場から先端工場まで幅広い領域をカバー。
提案から納品、アフターサービスまで一括して自社対応。
＜保管ソリューション＞
＜地上搬送ソリューション＞
＜管理システムソリューション＞