適用事例集 パワーロック - 4. 産業ロボット

採用機種

適用事例

半導体ウエハ搬送ロボット・大型液晶ガラス搬送ロボット

クリーンルームの中で使用される移載用ハンドリングロボットにもつばきのパワーロックが採用されています。
ハンドリングロボットは多数の関節部を持ちますが、これらの駆動にはベルトプーリが使用されています。
駆動はサーボモータかステッピングモータのため、精度が要求されるので、バックラッシのあるキー締結は出来ません。
容量が小さければDカットやナットによる固定が一般ですが、容量が大きくなってくるとパワーロックがメインで使用されます。

半導体ウエハ搬送ロボット・大型液晶ガラス搬送ロボット

クリーンルームでの使用なので、パワーロックにも耐環境仕様のシリーズが採用されています。
クリーン度の高い環境での使用が多い半導体ウエハの搬送ロボットはステンレスシリーズが、
比較的クリーン度が低い(クラス1000以上)FPD関連の搬送には無電解ニッケルメッキ仕様がメインで採用されています。

採用のポイント

  • ・特殊コーティングボルトの採用により組付け時のオイル・グリース塗布が不要
  • ・RoHS指令適合品