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つばき産業用機械製品 情報サイト

展示会バナー
  • 2025年12月17日(水)~19日(金) 10:00~17:00
  • 東京ビッグサイト 南1~2ホール 小間番号:S1717

「つばきに触れる。未来を感じる。」をテーマに当社商品を紹介しました。
多くの方にご来場いただきありがとうございました。

展示会ブース写真

出展品

お客様の課題解決につながる商品を紹介しました。
ボタンをクリックして、出展品の情報を表示させてください。

開閉構造を備えた
自立式フラットケーブルシステム /
フラットベヤ® ZP仕様

フラットベヤZP仕様
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 清浄度ISOクラス2
    摺動性の良いチューブにケーブル、チューブ、サポートメンバ(支持部材)を収納することで、摩耗粉の飛散を抑制。半導体製造工程における歩留まり向上に寄与します。
  • ケーブル・チューブの長寿命化
    サポートメンバにより、ケーブル・チューブを過度な屈曲から守り、長寿命化。ライン停止を最小限にします。
  • カンタン収納・交換
    つばき独自開発の開閉チューブにより、ケーブルやチューブの収納や交換が容易に可能。
  • 選べる2色
    黒色と白色をラインアップ。設備や使用環境に合わせて選択が可能。

つばき ケーブルベヤ®の中で
最も低発塵なケーブルベヤシステム /
クリーンベヤ®

クリーンベヤ
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 清浄度ISOクラス1
    つばきケーブルベヤのなかで最も低発塵。特に発塵を抑えたい設備・用途に好適。
  • 長寿命
    耐摩耗性に優れたポッド(フッ素樹脂 ePTFE)を採用。ポッド内にケーブルやチューブを収納することで支持物同士の摺動摩耗を防止。
  • 取付工数削減
    お客さまのご要望に合わせてケーブルやチューブを組み込み、クランプを取り付けた状態でお届け。お届け後は装置へスムーズに取り付けが可能。

ケーブルベヤ技術を駆使した独自の
自立式フラットケーブルシステム /
フラットベヤ®

フラットベヤ
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 清浄度ISOクラス1
    ケーブルやチューブを平型溶着し、支持物同士の摺動摩耗を抑制。摩耗粉の発生を抑えて半導体製造工程の歩留まり改善に貢献します。
  • 長ストローク対応
    フラットケーブルの両側にサポートメンバ(支持部材)を内蔵することで跳ね上がりを抑制。長ストローク対応が可能に。
  • 取付工数削減
    お客さまのご要望に合わせて、ケーブルやチューブを溶着し、すぐ設置できる形でお届け。取付工数を削減できるため、量産装置にオススメ。

発塵源をなくす空中設置 / フラットベヤ®
下面受けなし [開発品]

フラットベヤ下面受けなし
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 空中設置でさらに低発塵
    発塵源となるケーブルベヤ下面の受けを無くし、屈曲部を宙に浮かして設置することで、さらなる低発塵を実現。半導体製造工程の歩留まり改善に貢献します。(最大ストローク1m)
  • 高速・高加速時の姿勢安定性
    剛性アップしたサポートメンバ(支持部材)により、ケーブル・チューブの跳ね上がりを抑制し、チップマウンタのような高速・高加速時の姿勢安定性を維持します。
  • 清浄度ISOクラス1
    ケーブルやチューブを平型溶着。支持物とケーブルベヤ、支持物同士の摺動摩耗を抑制。摩耗粉の発生を抑えて半導体製造工程の歩留まり改善に貢献します。

長ストローク対応の地上設置 /
フラットベヤ®
長ストローク [開発品]

フラットベヤ長ストローク
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 最大4.0mの長ストローク
    ウェーハや液晶の大型化に伴う、搬送スライダの大型化・ロボット搬送距離の長ストローク化に対応。
  • 高速・高加速時の姿勢安定性
    剛性アップしたサポートメンバ(支持部材)により、ケーブル・チューブの跳ね上がりを抑制し、チップマウンタのような高速・高加速時の姿勢安定性を維持します。
  • 清浄度ISOクラス1
    ケーブルやチューブを平型溶着。支持物とケーブルベヤ、支持物同士の摺動摩耗を抑制。摩耗粉の発生を抑えて半導体製造工程の歩留まり改善に貢献します。

クリーンに使える長ストロークの
ケーブルベヤ® /
TKR28H52-EX

TKR28H52-EX
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 長ストローク 最大5.94m
    ウェーハの大口径化や液晶の大型化に伴う、搬送スライダの大型化、ロボット搬送距離の長ストローク化に対応。
  • 清浄度 ISOクラス3
    樹脂のたわみで屈曲するため低発塵。半導体などのクリーンルームにおけるケーブル保護に好適。
  • 長持ち
    従来のTKR形から、さらに高強度な剛性材を新採用。柔軟材の形状も刷新し一体成型とすることで、クリーン性を維持しながら、長寿命化とさらなる長ストローク対応を実現。

低湿度環境下でも割れにくい
ケーブルベヤ® /
TKR形 ドライ環境仕様

TKR形 ドライ環境仕様
  • ケーブル支持・保護
特長
  • 低湿度環境対応
    低露点なドライ環境下でも割れにくく、優れた耐久性を維持。
  • 高清浄度&低騒音
    つばき独自の屈曲構造により低発塵・低騒音を実現。
  • 多様な産業で採用実績あり
    二次電池や液晶製造工程などの低湿度環境下でも多数の実績あり。安心してご利用いただけます。

真空環境下におけるアウトガス対策に最適な
ケーブルベヤ® /
TKP形・TKC形 PVDF仕様

TKP形 PVDF
  • ケーブル支持・保護
特長
  • アウトガス抑制
    特殊フッ素樹脂を使用しているので、真空環境下でのケーブルベヤからのガスの発生を抑制。歩留まり向上に寄与します。
  • 優れた耐薬品性
    さまざまな薬品がかかるような環境でもケーブルベヤの耐久性を維持。
  • 多様な産業で採用実績あり
    半導体のほかに、液晶製造、滅菌、メッキ工程などにも幅広い実績あり。安心してご利用いただけます。

多軸ロボットの複雑な動きから
ケーブルを保護するケーブルベヤ® /
ROBOTRAX®

ROBOTRAX
  • ケーブル支持・保護
特長
  • ワイヤ内蔵
    ワイヤ内蔵により、高い引張強度を実現。装置の急加速・急減速からケーブルを保護。
  • オープン構造
    ケーブルの挿入が容易なので、メンテナンス工数が大幅削減。ケーブル状態は外から目視確認可能。
  • 屈曲規制構造
    リンクに備わった屈曲を規制する構造により、ケーブルを過度な力から保護。断線からケーブルを守り、ライン停止を最小限にします。

高強度・高剛性なタイミングベルト /
ウルトラPX®ベルト HY仕様

ウルトラPXベルトHY仕様
  • 伝動
特長
  • 高剛性
    剛性の高いカーボン+高強度ガラスファイバーのハイブリッド心線を採用。高剛性を保持しながら屈曲疲労性にも優れた商品。繰り返し停止精度が高く、減衰時間の短縮や最大振幅の減少を実現。背面アイドラも使用可能で、レイアウト設計の自由度が高い。
  • 高強度
    ハイブリッド心線を採用することで高伝動能力を実現。ベルト幅の細幅化やピッチダウンが可能となり、装置のコンパクト化に貢献。プーリの軽量化およびイナーシャ低減も可能。

無給油で吊り下げ駆動にも使える
ドライブチェーン /
ラムダチェーン®

ラムダチェーン
  • 伝動
特長
  • 無給油チェーン
    業界初の特殊含油ブシュにより給油不要。1988年の発売以来、様々な業種・用途で採用され、豊富な実績。
  • クリーン
    追加給油が不要で、汎用ドライブチェーンに比べて油の飛散が低減できます。
  • 豊富なバリエーション
    耐摩耗性を向上させた長寿命ラムダチェーンや耐熱仕様、耐寒仕様、耐食性向上仕様など幅広いニーズに対応。

世界最小※サイズのローラチェーン /
エプシロンチェーン ステンレス仕様 
※2024年9月に第三者機関により認定

エプシロンチェーン
  • 伝動
特長
  • 世界最小ピッチ
    アプリケーションの小型化・軽量化に貢献。歯付きベルトやワイヤーロープに比べて巻き掛けスペースを抑えることが可能。ロボットのエンドエフェクタ駆動に最適。
  • 確実な動力伝達
    ワイヤーロープなどに比べ、バックラッシの小さい確実な動力伝達を実現。狭い場所での正確な作業が可能。
  • 耐食性
    高い耐食性をもつSUS300シリーズステンレスの採用により、洗浄など水のかかる環境下でも使用可能。

バックラッシレスなので停止精度向上。
キーレス締結具一体型のタイミングプーリ /
ロックプーリ®

ロックプーリ
  • 伝動
  • 締結・連結
特長
  • バックラッシレスの摩擦締結
    キー溝由来のガタがゼロになるので、位置決め精度も大幅向上。スループット改善に貢献します。摩擦締結だから位相合わせ/取り付け・取り外しが容易で、軸方向の抜け止めも不要。
  • 3タイプをラインアップ
    用途に合わせて標準機種のSタイプ/ナット一つで締結可能なNタイプ/クランプカラーを用いて2本のボルトで締結できるCタイプの3タイプから選択可能。

簡単・強力・確実なノンバックラッシの
摩擦式締結具 /
パワーロック®

パワーロック
  • 締結・連結
特長
  • 高精度
    バックラッシ(ガタ)がなく高精度な位置制御に最適。
  • 作業工数の削減
    摩擦締結なので、位相合わせ、取り付け・取り外し、組み立て・分解も容易。
  • 豊富なラインアップ
    スチールのほかに、直接水がかかる用途や高い耐食性が求められる用途でも安心して使えるステンレス仕様、無電解ニッケルめっき仕様もご用意。

高品質ウェーハ研磨で採用される
極小の回転ムラ特性のウォーム減速機 /
トロイドライブ & ウォームパワードライブ®

トロイドライブ
  • 減速・制御
特長
  • 安定したなめらかな回転
    回転ムラが小さく品質安定性と精度の向上に貢献します。特にトロイドライブでは1%以下の角速度変動率を実現※。※サイズ 125 減速比 1/60
  • 豊富なバリエーション
    小形~大形、高減速、軸配置、取付方法、モータ付きなど装置設計に合った選択が可能。
  • 開閉機構や反転機構の電動化・自動化にも最適
    高伝動能力&一段減速でコンパクト、軸上取付のレイアウトを実現。機構的な逆転防止効果も期待できます。

コストパフォーマンス&高効率の
コントロールモータ /
DCブラシレスドライバ & DCブラシレスハイポイドモートル

DCブラシレスドライバ&DCブラシレスハイポイドモートル
  • 減速・制御
特長
  • 優れた速度制御性
    内蔵したホールICでモータの回転速度を検出し、ドライバヘフィードバックすることで負荷変動時も安定した回転速度(搬送速度)を実現。
  • モータ部全長38%コンパクト化
    損失が少なく高効率なため、モータの小形化と冷却ファンをなくすことでインダクションモータと比較してモータ部を38%コンパクト化。
  • 低コスト
    DCブラシレスモータは速度制御に特化しており、多機能なコントロールモータと比較して価格がリーズナブル。

薬液槽間搬送にも利用可能な
ローラ付ギヤラック・ホイール /
ピンギヤドライブユニット®
ステンレスタイプ

ピンギヤドライブユニットステンレスタイプ
  • 回転
  • 直動
特長
  • スチール/ステンレスタイプ
    最も汎用的なスチールタイプをはじめ、腐食雰囲気や高温雰囲気で使用できるステンレスタイプもラインアップ。洗浄など水や薬品のかかる環境下でも使用可能。
  • 軽量で取扱負荷軽減
    ピンラック/ホイールは中空構造のためラック・ギヤより軽量。装置の軽量化、作業性向上に貢献。
  • ピンラック/ホイールは分割方式
    必要な長さ、角度分だけ購入が可能。

汎用ギヤヘッドをサーボ対応し
高い経済性を実現 /
サーボモータ用減速機TERVO®

サーボモータ用減速機TERVO
  • 減速・制御
特長
  • 用途・レイアウトに合わせたラインナップ
    直交、平行、中実・中空といった入出力の軸配置や、特性に合わせてウォーム・ハイポイド・ヘリカルギヤが選択可能。
  • 高精度を必要としない箇所に最適
    精密減速機に比べてコストメリットがあり、減速比を大きくとることで、モータの省サイズ化も可能。
  • 使用するサーボモータからラクラク選定
    対応する取り付けフランジをマウントコード化しているので簡単選定。掲載がないサーボモータ、ギヤヘッドについてもお問い合わせください。

ハブ移動不要。メンテナンス工数の
大幅削減が可能なカップリング /
ATRAFLEX®

ATRAFLEX
  • 締結・連結
特長
  • 潤滑不要、ハブ移動不要
    樹脂製インサートだから潤滑不要、さらに巻き付く構造のインサートだから、交換時のハブ移動も不要。カップリングのメンテナンス工数削減とダウンタイムの最小化を実現。
  • 軸穴径は17mmから184mmまで幅広く対応
    あらゆる箇所のメンテナンス工数を削減できます。特に、大形カップリングとの置換ではメンテナンスの重労働から解放され、作業の安全性向上にも寄与。
  • 仕様に応じて選べるインサートは4 種類
    標準仕様の他、使用可能温度175℃の耐熱仕様や高トルク仕様、振動減衰特性に優れたインサートなど、使用条件に応じて4種類から選択可能。

クリーン環境に対応した、
超低床の直線作動機 /
ジップチェーンアクチュエータ®

ジップチェーンアクチュエータ
  • 直動
特長
  • 圧倒的なコンパクト性
    チェーン収納時の高さはストロークに対して約1/10と低床。狭いスペースでの設置が可能。設備自体のコンパクト化にも寄与します。
  • 高速・高頻度運転、多点停止
    ねじ式や油圧・空圧シリンダを圧倒する最大1000mm/sを実現。高精度な多点停止や連続運転が可能(負荷時間率100%ED)。高タクト化による生産性向上に貢献します。
  • クリーン環境への対応可能
    クリーン対応ジャバラ、クリーン対応グリスを使用することで、 クリーン環境での使用を実現。

水のかかる環境でも使用可能な
樹脂製超低床アクチュエータ /
チェーン式アクチュエータ樹脂仕様 (仮称) [開発品]

樹脂チェーンユニット
  • 直動
特長
  • 無潤滑
    樹脂製のため潤滑油は不要。水がかかる環境でも使用可能。
  • 金属摩耗粉の発生なし
    金属摩耗粉は発生せず、金属が使えない環境でも使用可能。
  • 圧倒的なコンパクト性
    ジップチェーンの特殊構造により、低床でコンパクトかつ軽量。装置のわずかなスペースに設置が可能。

狭小スペースで揺動を電動化した
新たな直線作動機 /
ジップチェーンアクチュエータ®
揺動仕様 [開発品]

ジップチェーンアクチュエータ揺動仕様
  • 直動
特長
  • 特殊構造により高効率
    昇降体の角度変化に追随して、チェーンが傾きながら進退する構造なので、力のロスが少なく効率的な揺動が可能。
  • 省スペース
    ピット不要、置きポンで揺動運転を実現。コンパクト形状により余分なスペースが不要。
  • 多点停止が可能
    電動機構なので、油圧シリンダ・エアシリンダでは難しい多点停止が可能。品種混流ラインにおいても容易に揺動角度を調整可能。

メンテナンス時の重量物昇降を
スクリュージャッキでより安全に /
リニパワージャッキ®

リニパワージャッキ
  • 直動
特長
  • メンテナンス作業の安全性向上
    チャンバー開閉やステージの昇降など実績多数。
  • クリーン対応
    ねじ軸のステンレス仕様、防塵性のある表面処理、低発塵グリースなどクリーン対応が可能。
  • ジャッキシステムの一括選定サービス
    ジャッキ、カップリング、モータなどの周辺部品も一括で選定可能。面倒な選定計算や見積も一括で完結し、工数を大幅削減。

自動運転・非接触給電で
クリーンな天井搬送システム /
オートランバンガード® Mark II

オートランバンガード Mark II
  • 搬送
特長
  • 天井空間を有効活用した高速搬送
    地上設備の配置にこだわらない最短経路でのレイアウト構築。無人搬送車(AMRなど)では走行が困難な狭い通路での搬送が可能。作業員との交錯がないため、安全に高速搬送を実現。
  • 無人搬送×非接触給電によるクリーン搬送(ISOクラス5・連邦規格class100相当)
    非接触給電を用いて発塵リスクを低減。半導体の製造工程や製造装置組み立てラインなどで天井搬送を実現。
  • 一条レールによる低コスト導入
    一般的な二条レールの電車に対し構造がシンプルなため低コスト。消耗部品が少なくメンテナンス性が容易。
  • 国内外のエレクトロニクス工場で実績多数
    工程間・棟間での搬送に最適。既設工場での納入実績(居ながらリニューアル)が多数あり、生産継続しながら柔軟に導入可能。

※本サイト内で表示している納期は基準納期です。諸事情により変動することがありますので、ご発注時には必ずご確認ください。また、「希望価格」とはメーカー希望小売価格です。