バッチ式全自動洗浄装置では、基盤の大型化により搬送距離が長くなるため、長ストロークに対応できる汎用的なケーブルベヤを使用していました。

しかし汎用的な構造のケーブルベヤでは摺動部からの発塵によって製品に摩耗粉が付着しワーク不良が発生していました。

TKR28H52-EXはピンとピン穴部の摺動摩耗がなく、耐摩耗性に優れた高摺動材料の採用により低発塵と長ストロークの両方を実現しました。

そのため、ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のケーブルベヤで対応することができ、発塵を抑えてワークの不良率改善にも貢献しました。