ウエハの大口径化やPLP（Panel Level Package）化に伴い搬送ロボットの横行距離が長くなる傾向があります。従来の搬送設備ではケーブルベヤ設置箇所がウエハやFOUPの下側だったこともあり汎用モデルのTKP形を使用していましたが、製品歩留まり向上のため装置全体のクリーン度を高めていく必要があり、低発塵・低振動・静粛性に優れたケーブルシステムを必要としていました。

汎用モデルのTKP形からピンとピン穴を持たないリンクレス構造のTKR形に変えたことで、ケーブルベヤ本体からの摩耗粉対策で製品歩留まりの向上を実現。それに加えて静粛性が高く低振動という特長もあるため、設備の安定稼動と製造環境の改善が実現できました。

屈曲部の構造設計と材料を最適化し、たわみの柔軟性を維持しながら剛性による長ストロークを実現したモデルのTKR28H52-EXが発売されたことで、今までTKR形を採用できなかった搬送距離の長い設備でも高いクリーンクラスの実現を進めることができます。