適用事例集　直動機器 － 高頻度運転

適用事例

半導体基板洗浄装置


製造された基板を自動で洗浄する装置です。
洗浄液層の中で基板を入れたカゴを上下に揺すって、表面に付いた不純物を落とします。
不純物を確実に落とす為、短時間でジャッキは伸縮を何度も繰り返します。
この時のジャッキの負荷時間率は100％近くになります。
高頻度運転対応のリニスピードジャッキが使用されます。


採用のポイント

  • ・連続伸縮に対応する高頻度運転
  • ・確実に汚れを落とす為の高速運転

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