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椿本产品选择
用于自动清洗制成的基板。 将装入半导体基板的箱体在清洗液中上下移动,除去表面附着的不纯物。 为了确实清除不纯物,需要在短时间内多次伸缩丝杆。 此时丝杆的负荷时间率接近100%。 需要使用可对应高频度运行的电动高速丝杆。
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