适用案例集 直线作动机 - 高频度运转

适用事例

半导体基板洗净装置


用于自动清洗制成的基板。
将装入半导体基板的箱体在清洗液中上下移动,除去表面附着的不纯物。
为了确实清除不纯物,需要在短时间内多次伸缩丝杆。
此时丝杆的负荷时间率接近100%。
需要使用可对应高频度运行的电动高速丝杆。


采用理由

  • ・高频度运行,可对应连续伸缩
  • ・高速运行,可确实清除不纯物