適用事例集　減速機 － ラッピングマシン

採用シリーズ

  • ・トロイドライブ TD125S、他  仕様：サイズ 125、減速比 1/20他、ウォームパワードライブSWM

適用事例

ラッピングマシン

ラッピングマシン

半導体、FPD等に用いられる、ウエハーの研磨装置にトロイドライブが採用されています。

採用のポイント

  • ・限られた設置面積の中でも、他社製汎用ウォーム減速機と比較しコンパクトかつ高効率で高伝達容量を得られます。
  • ・滑り接触で伝達するウォームギヤは、ヘリカル・べベル等の減速機構と比較して低振動、角度伝達誤差(回転ムラ)が約1/10のため、
    滑らかな回転が製品の仕上がりを向上させます。

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