課題

既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。

さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。

採用製品

ジップチェーンアクチュエータ

噛合チェーン(ジップチェーン)は、2本のチェーンがジッパーのように噛合い、1本の強固な棒状になり｢押し・引き｣ができる当社独自開発のチェーンです。

ジップチェーンアクチュエータはこの機構を採用した、全く新しい直動機器です。

ジップチェーンをコンパクトなケースに収納できるため、従来の直動機器に比べ圧倒的な省スペース化を実現しました。

高速・高頻度運転に対応し、油圧・空圧シリンダと比べて使用電力量も大幅に削減できます。

高精度に多点停止が可能で、取付方向も自由です。

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製品採用による効果

ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。

1000㎜/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。

また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。

クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。