无尘环境下使用的升降设备,所占空间小,确保无尘输送的同时实现作业自动化。
半导体光刻机的门需自动开关,所以需要一款不改变设备的安装布局且所占空间小的电动传动装置。
此外该设备在无尘室使用,需保持低排尘确保清洁作业。
最终决定导入Zip Chain传动装置,该装置为低地设计,整体小巧紧凑占用空间小,且使用专为需要清洁润滑环境而设计的无尘润滑脂。导入后和现有设备的连接也很简单。

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困扰 | 行业 | 用途 | 产品群 |
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节省空间 | 液晶/半导体/电子设备/通信 | 直线运动 | 直线作动机 |
困扰
和现有设备的连接需容易便捷,对现有布局不希望做大幅度的调整。
此外光刻机在无尘的环境下工作,如果有灰尘或异物混入会对芯片的精度产生影响导致最终的性能和质量下降。因此排尘量需控制在最小范围以确保环境的洁净。
使用产品
Zip chain 传动装置

咬合链条(Zip Chain)是两条链条像拉链相互咬合,成为一条坚固的立柱,由椿本独创的可「推·拉」的链条。
Zip Chain传动装置是采用采用此构造的全新型直线作动机。
Zip Chain可收纳于紧凑的箱体内,与常规的直线作动机相比,可极大地节省空间。
高速高频率的运行,和液压和空压气缸相比可能耗能更低。
可高精度多点停止,安装方向自由。
使用效果
导入Zip Chain传动装置后,现有设备的自动门开关功能在不更改布局的情况下可以继续使用。这大幅度节约了设计时间成本,有效提高了工作效率。
以1000mm/s进行高速运转,有效提高了生产现场的工作效率。
使用专为需要清洁润滑环境而设计的无尘润滑脂,有效减少了排尘量的发生。
在无尘环境下的稳定运行很好的保证了产品的质量。
椿本会倾力帮助贵司解决困扰。
有任何疑问,欢迎随时垂询。
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