クリーンルームのケーブル保護、発塵を抑え歩留まり向上へ

クリーンルームで使用される半導体・FPD製造＆検査装置などは、ワーク不具合に繋がる発塵を抑えることが重要です。

クリーンベヤは、ISOクリーンクラス1の低発塵性により、ワーク上側にある可動ケーブルをクリーンに支持・案内し、歩留まり向上に貢献します。

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課題	業界	用途	製品群
摩耗粉	液晶・半導体・電子機器・通信	支持・案内する	ケーブルベヤ

課題

半導体・FPD製造＆検査装置などでワークよりも上にケーブル保護装置の可動部がある場合、発塵によりワークの不具合が発生していました。

ケーブルベヤ　クリーンベヤ

つばきケーブルベヤの中でも最も低発塵なケーブルシステムです。

清浄度ISOクラス１を実現し、クリーンルーム内の使用に最適です。

36dB(A)以下の低騒音と屈曲回数1000万回以上の長寿命です。(当社テスト結果より)

RoHS指令適合品です。(お客様ご支給のケーブル・チューブを除く)

フッ素樹脂素材のポッドで一体化したクリーンベヤによって、低発塵化を実現し、歩留まり向上に繋げることができました。

また、ISOクリーンクラス1を取得しているため、クリーンルームにおける装置の信頼性向上に貢献できました。

つばきは貴社のお困りごと解決を全力でサポートいたします。

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